激光干涉儀用于平面度測量
發(fā)布時間:2019-02-19瀏覽次數(shù):2446
1、平面度
平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸,利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度,轉(zhuǎn)化為高度的變化,按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值,就可以得到整個平臺的平面度。
      
2、平面度測量用組件
        平面度測量用到的激光干涉儀組件:
        激光干涉儀測頭、角度測量光學(xué)鏡組、平面度測量組件、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
3、平面度測量應(yīng)用
       測量坐標(biāo)測量機臺面以及各種平板的表面形狀。
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