1、平行度測(cè)量原理
      平行度測(cè)量由兩組直線度測(cè)量組成，兩次測(cè)量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說(shuō)明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個(gè)正交平面內(nèi)沿每個(gè)要被比較的軸測(cè)量直線度。因此，平行度或平行線測(cè)量實(shí)際是四次直線度測(cè)量，每次的步驟和方法同測(cè)量直線度一樣，如下圖所示。

2、數(shù)據(jù)采集和處理
      按照上面的分析，平行度測(cè)量分成正交平面內(nèi)的兩次直線度測(cè)量，在同一個(gè)面內(nèi)的測(cè)量分兩步：第一步測(cè)量其中一軸的直線度，其方法跟直線度測(cè)量一樣；第二步測(cè)量另一軸的直線度。每次測(cè)量后均把以共同反射鏡為參考基準(zhǔn)所采集的直線度數(shù)據(jù)保存。最后根據(jù)上述四個(gè)直線度測(cè)量結(jié)果，計(jì)算得到兩軸之間的平行度或平行線誤差。
3、平行度測(cè)量用組件
      平行度測(cè)量用到的激光干涉儀組件：
      激光干涉儀測(cè)頭、測(cè)量附件、垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組、Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、垂直度測(cè)量應(yīng)用
       數(shù)控機(jī)床/坐標(biāo)測(cè)量機(jī)Ｘ、Ｙ軸上多導(dǎo)軌平行度
       兩導(dǎo)軌的平行度
       回轉(zhuǎn)軸的平行度測(cè)量，確定旋轉(zhuǎn)軸線和直線軸之間的角度關(guān)系，對(duì)于車(chē)床尤為重要。